通過(guò)風(fēng)機(jī)的循環(huán)使退火爐的爐腔內(nèi)溫度分布均勻，退火爐的兩個(gè)爐腔室是可以獨(dú)自運(yùn)行的，提高了退火效率，每個(gè)爐腔內(nèi)都有兩臺(tái)風(fēng)機(jī)，卻沒有空氣過(guò)濾裝置，跟實(shí)際情況有出入。浙江半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐通過(guò)風(fēng)機(jī)循環(huán)使?fàn)t內(nèi)溫度分布均勻，通過(guò)熱處理重組薄膜材料微觀結(jié)構(gòu)，提高穩(wěn)定性及轉(zhuǎn)化效率。浙江半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐將鑄件加熱到九百五十?dāng)z氏度左右 ，保溫一定時(shí)間后適當(dāng)冷卻，用以消除鋼鐵鑄件和焊接件的內(nèi)應(yīng)力。對(duì)于鋼鐵制品加熱后開始形成奧氏體的溫度以下一百到二百攝氏度，保溫后在空氣中冷卻，即可消除內(nèi)應(yīng)力。

均勻化退火又稱擴(kuò)散退火。浙江半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐應(yīng)用于鋼及非鐵合金如錫青銅、硅青銅、白銅、鎂合金等的鑄錠或鑄件的一種退火方法。將鑄錠或鑄件加熱到各該合金的固相線溫度以下的某一較高溫度，長(zhǎng)時(shí)間保溫，然后緩慢冷卻下來(lái)。浙江半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐均勻化退火是使合金中的元素發(fā)生固態(tài)擴(kuò)散，來(lái)減輕化學(xué)成分不均勻性偏析，主要是減輕晶粒尺度內(nèi)的化學(xué)成分不均勻性晶內(nèi)偏析或稱枝晶偏析。均勻化退火溫度所以如此之高，是為了加快合金元素?cái)U(kuò)散，盡可能縮短保溫時(shí)間

若快切閥顯示為黃色，換向閥顯示為紅色X，即是行程不到位，檢查行程是否脫離設(shè)備，若無(wú)脫離，可打開行程開關(guān)，檢查行程內(nèi)凸輪是否出現(xiàn)不到位情況，適當(dāng)調(diào)整使之弧度處壓上彈簧片即可。浙江半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐若快切閥或換向閥顯示為紅色或綠色之一，可判定其行程正常，排查重點(diǎn)在動(dòng)作部分。檢查動(dòng)作部分時(shí)，先于現(xiàn)場(chǎng)觀察電磁閥兩插頭是否有一個(gè)亮燈，若兩個(gè)都不亮，則為電氣故障。浙江半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐然后，若有一個(gè)亮，可把兩插頭取下，用亮的插頭在兩個(gè)電磁閥插座上輪流插拔試驗(yàn)，若汽缸不動(dòng)作，則為機(jī)械故障。若汽缸動(dòng)作，則為電氣故障。

球化退火只應(yīng)用于鋼的一種退火方法。浙江半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐將鋼加熱到稍低于或稍高于Ac1的溫度或者使溫度在A1上下周期變化，然后緩冷下來(lái)。浙江半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐目的在于使珠光體內(nèi)的片狀滲碳體以及先共析滲碳體都變?yōu)榍蛄?，均勻分布于鐵素體基體中這種組織稱為球化珠光體。具有這種組織的中碳鋼和高碳鋼硬度低、被切削性好、冷形變能力大。對(duì)工具鋼來(lái)說(shuō)，這種組織是淬火前的原始組織。