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晶體生長爐

晶體生長爐

  • 所屬分類:晶體生長爐
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  • 發(fā)布日期:2021-06-29
  • 產品概述
  • 性能特點
  • 技術參數(shù)

 晶體生長爐

晶體生長爐


項目(結構、材質、參數(shù))基本技術
全部鋼材用料304不銹鋼板
加熱爐內圓同心度爐膛內部同心度±13nm
爐膛內壁表面工藝整潔平整、無不規(guī)則缺口,不掉落碎塊
絕緣保溫材料材質成型1400型氧化鋁制品,新型保溫材料
爐膛保溫材料材質與物理性質成型1600型氧化鋁制品,結構致密,高溫條件下強度好,不易碎,不掉落
外売的溫度60℃/100℃
長期工作的溫度1300℃
加熱爐核心點位溫度900℃, 1150℃
溫升速率10-15℃/min
加熱溫區(qū)工作電壓三相基本平衡
加熱溫區(qū)的功率分配根據(jù)控制點溫度,確定加熱溫區(qū)功率
功率負荷<90%
加熱模塊圍護更換各自獨立,便于更換,形變控制
熱電偶數(shù)量每段溫區(qū)設置2個,一個控溫,一個測溫


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