結(jié)構(gòu)：退火爐爐門采用輕型鋼結(jié)構(gòu)骨架，耐火纖維做隔熱保溫材料2.爐門提升動(dòng)力：爐門采用電動(dòng)升降，電動(dòng)葫蘆裝在爐門龍門架上方。浙江半導(dǎo)體外延生長爐爐門密封：本爐門采用特殊彈簧與凸輪機(jī)構(gòu)自動(dòng)壓緊和軟邊密封裝置，可使?fàn)t門與爐體自動(dòng)壓緊，確保爐子在生產(chǎn)過程中始終處于密封狀態(tài)，杜絕了高溫爐氣的外逸，改善了工作環(huán)境，保證了爐溫均勻性，增強(qiáng)節(jié)能效果。這種爐門密封裝置結(jié)構(gòu)簡單，安全可靠，維修方便。浙江半導(dǎo)體外延生長爐這種機(jī)構(gòu)在近幾年生產(chǎn)的全纖維棉臺(tái)車爐中使用效果很好。

該爐是供金屬機(jī)件、環(huán)件等在額定的溫度下進(jìn)行熱處理設(shè)備簡介：本爐是由爐體與一個(gè)可移動(dòng)的爐蓋及控制系統(tǒng)組成。爐體外殼采用型鋼及鋼板焊接而成。浙江半導(dǎo)體外延生長爐爐蓋支撐采用型鋼和導(dǎo)軌組合移動(dòng)式。元件采用北京首鋼產(chǎn)的高電阻合金0Cr25Al5布置在爐側(cè)。爐底由于承重采用高鋁磚砌筑，爐子中心采用大圈套小圈做法，里外加熱。浙江半導(dǎo)體外延生長爐爐蓋采用液壓升降，電機(jī)控制自動(dòng)行走。溫控系統(tǒng)采用PID可控硅控制，精度高。

為去除工件塑性變形加工、切削加工或焊接造成的內(nèi)應(yīng)力及鑄件內(nèi)從在的殘余應(yīng)力而進(jìn)行的退火。浙江半導(dǎo)體外延生長爐去應(yīng)力退火一般在稍高于再結(jié)晶溫度下進(jìn)行，鋼鐵材料一般在五百五十到六百五十?dāng)z氏度不等，熱模具鋼及高合金鋼可適當(dāng)升高到六百五十?dāng)z氏度到七百五十?dāng)z氏度不等，退火時(shí)間與退火溫度有關(guān)。浙江半導(dǎo)體外延生長爐為了防止去應(yīng)力退火后冷卻時(shí)再發(fā)生殘余應(yīng)力，應(yīng)緩冷至五百攝氏度出爐空冷，大截面工件需緩冷到三百攝氏度以下出爐空冷。?

故障出現(xiàn)后，監(jiān)控主畫面上方會(huì)出現(xiàn)報(bào)警提示，根據(jù)提示內(nèi)容可初步判定故障設(shè)備，報(bào)警具體如下：V101閥位報(bào)警、V105閥位報(bào)警加熱段煤氣換向報(bào)警加熱段空氣換向報(bào)警、保溫段煤氣換向報(bào)警、保溫段空氣換向報(bào)警。浙江半導(dǎo)體外延生長爐其中，V101閥即加熱段煤氣快切閥，V105閥即保溫段煤氣快切閥。每一設(shè)備由動(dòng)作部分和閥位反饋部分組成。動(dòng)作部分由電磁閥帶氣動(dòng)元件發(fā)生動(dòng)作。浙江半導(dǎo)體外延生長爐出現(xiàn)上述報(bào)警后，首先查看報(bào)警設(shè)備在監(jiān)控主畫面上顯示的顏色，確定其狀態(tài)。

退火爐采用金屬熱處理退火工藝，將金屬緩慢加熱到一定溫度，保持足夠時(shí)間，然后以適宜速度冷卻。浙江半導(dǎo)體外延生長爐目的是降低硬度，改善切削加工性；消除殘余應(yīng)力，穩(wěn)定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細(xì)化晶粒，調(diào)整組織，消除組織缺陷。浙江半導(dǎo)體外延生長爐使經(jīng)過鑄造、鍛軋、焊接或切削加工的材料或工件軟化，改善塑性和韌性，使化學(xué)成分均勻化，去除殘余應(yīng)力，或得到預(yù)期的物理性能。鑄件在冷卻過程中，積累了大量的內(nèi)應(yīng)力，要通過退火爐來消除內(nèi)應(yīng)力。