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南京高純半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐公司

2020-02-27
南京高純半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐公司

目前等直徑硅碳棒的生產(chǎn)工藝有兩種,老工藝與新工藝,區(qū)別方法在與從燒結(jié)方式上。南京半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐老工藝采用的是埋藏反應(yīng)燒結(jié),新工藝采用的是高溫真空爐燒結(jié)。由于埋藏?zé)菩枰妹?,?duì)環(huán)境有一定的污染,好多都已取締,大多采用新工藝制作。南京半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐比如在鋁廠,玻璃廠,釩氮合金,反光材料產(chǎn)品燒結(jié)中會(huì)產(chǎn)生一定的腐蝕氣體,老工藝比新工藝元件的耐腐蝕性要好。等直徑硅碳棒元件是很高的純度以碳化硅為主要原料,加入工業(yè)硅,碳粉等材料。經(jīng)過(guò)成型,烘干,高溫?zé)Y(jié)等多道工序而制成的一種非金屬棒狀高溫電熱元件。

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采用新型的燃燒技術(shù),如脈沖燃燒技術(shù)、高溫空氣燃燒技術(shù)、富氧燃燒技術(shù)等。南京半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐脈沖燃燒技術(shù)是近年來(lái)開發(fā)的一項(xiàng)行之有效的降低氮氧化合物的技術(shù),燒嘴采用間斷燃燒的方式,一旦工作,就處于滿負(fù)荷狀態(tài)。南京半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐當(dāng)需要升溫時(shí),燒嘴燃燒時(shí)間加長(zhǎng),間斷時(shí)間減少;需要降溫時(shí),燒嘴燃燒時(shí)間減少,間斷時(shí)間加長(zhǎng)。通過(guò)調(diào)節(jié)燃燒時(shí)間的占空比實(shí)現(xiàn)窯爐的溫度控制,燃料流量可通過(guò)壓力調(diào)整預(yù)先設(shè)定,無(wú)需在線調(diào)整,即可實(shí)現(xiàn)空氣過(guò)剩系數(shù)的控制。故脈沖燃燒技術(shù)傳熱效率高、能耗低、爐內(nèi)溫度場(chǎng)均勻性好,這些均有利于減少氮氧化合物的生成。

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均勻化退火又稱擴(kuò)散退火。南京半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐應(yīng)用于鋼及非鐵合金如錫青銅、硅青銅、白銅、鎂合金等的鑄錠或鑄件的一種退火方法。將鑄錠或鑄件加熱到各該合金的固相線溫度以下的某一較高溫度,長(zhǎng)時(shí)間保溫,然后緩慢冷卻下來(lái)。南京半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐均勻化退火是使合金中的元素發(fā)生固態(tài)擴(kuò)散,來(lái)減輕化學(xué)成分不均勻性偏析,主要是減輕晶粒尺度內(nèi)的化學(xué)成分不均勻性晶內(nèi)偏析或稱枝晶偏析。均勻化退火溫度所以如此之高,是為了加快合金元素?cái)U(kuò)散,盡可能縮短保溫時(shí)間

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臺(tái)車式退火爐是通過(guò)熱處理可以改變鋼的組織結(jié)構(gòu),從而改善鋼的性能。南京半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐熱處理可以顯著提高鋼的機(jī)械性能,延長(zhǎng)機(jī)器零件的使用壽命。南京半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐恰當(dāng)?shù)臒崽幚砉に嚳梢韵T、鍛、焊等熱加工工藝造成的各種缺陷,細(xì)化晶粒、消除偏析、降低內(nèi)應(yīng)力,使鋼的組織和性能更加均勻。臺(tái)車式退火爐處理的均勻鋼的化學(xué)成分及組織,細(xì)化晶粒,調(diào)整硬度,并消除內(nèi)應(yīng)力和加工硬化,改善鋼的切削加工性能并為隨后的淬火作好組織準(zhǔn)備。生產(chǎn)上常用的退火操作有完全退火、等溫退火、球化退火、去應(yīng)力退火等。

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