爐體外殼采用型鋼及鋼板焊接而成。爐蓋支撐采用型鋼和導(dǎo)軌組合移動(dòng)式。湖北半導(dǎo)體外延生長爐加熱元件采用北京首鋼產(chǎn)的高電阻合金布置在爐側(cè)。爐底由于承重采用高鋁磚砌筑爐子中心采用大圈套小圈做法，里外加熱。爐蓋采用液壓升降，電機(jī)控制自動(dòng)行走。溫控系統(tǒng)采用PID可控硅控制，精度高。湖北半導(dǎo)體外延生長爐在闡述這個(gè)問題前我們先來了解一下鑄件的生產(chǎn)過程：鑄件是通過加熱鑄件將其在爐內(nèi)融化成液體金屬澆鑄到與零件形狀相適應(yīng)的鑄造空腔中，待其冷卻凝固后，獲得具有一定形狀、尺寸和性能金屬零件毛坯。

鋼的重結(jié)晶退火工藝是：緩慢加熱到亞共析鋼或共析鋼或過共析鋼以上三十到五十?dāng)z氏度，保持適當(dāng)時(shí)間，然后緩慢冷卻下來。湖北半導(dǎo)體外延生長爐通過加熱過程中發(fā)生的珠光體或者還有先共析的鐵素體或滲碳體轉(zhuǎn)變?yōu)閵W氏體以及冷卻過程中發(fā)生的與此相反的第二回相變重結(jié)晶，形成晶粒較細(xì)、片層較厚、組織均勻的珠光體或者還有先共析鐵素體或滲碳體。湖北半導(dǎo)體外延生長爐退火溫度在亞共析鋼使鋼發(fā)生完全的重結(jié)晶者，稱為完全退火，退火溫度在Ac1與Ac3之間 亞共析鋼或Ac1與Acm之間過共析鋼，使鋼發(fā)生部分的重結(jié)晶者，稱為不完全退火。

首先，硅碳棒加熱后形成濃密的氧化硅膜，從而生成抗氧化保護(hù)膜，延長了硅碳棒的壽命。在使用硅碳棒的過程中，可以使用涂層用于氣體的爐內(nèi)。湖北半導(dǎo)體外延生長爐來防止硅碳棒的裂化，其次在使用硅碳棒的過程中，硅碳棒表面的溫度越高，表示硅碳棒的電流量越大。一般硅碳棒的有效發(fā)熱長度在攝氏度以內(nèi)。湖北半導(dǎo)體外延生長爐硅碳棒表面的實(shí)際功率是由于爐的內(nèi)溫度和硅碳棒表面的溫度決定的。硅鉬棒電流強(qiáng)度。在使用硅碳棒的時(shí)候，供電線與元件間必須有良好的接觸，避免電阻發(fā)熱過多從而造成燒毀接線。由于硅鉬棒運(yùn)行過程中熱膨脹而造成電源線松弛，應(yīng)在使用前把電源線接頭擰緊。

退火爐采用金屬熱處理退火工藝，將金屬緩慢加熱到一定溫度，保持足夠時(shí)間，然后以適宜速度冷卻。湖北半導(dǎo)體外延生長爐目的是降低硬度，改善切削加工性；消除殘余應(yīng)力，穩(wěn)定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細(xì)化晶粒，調(diào)整組織，消除組織缺陷。湖北半導(dǎo)體外延生長爐使經(jīng)過鑄造、鍛軋、焊接或切削加工的材料或工件軟化，改善塑性和韌性，使化學(xué)成分均勻化，去除殘余應(yīng)力，或得到預(yù)期的物理性能。鑄件在冷卻過程中，積累了大量的內(nèi)應(yīng)力，要通過退火爐來消除內(nèi)應(yīng)力。