該爐是供金屬機(jī)件、環(huán)件等在額定的溫度下進(jìn)行熱處理設(shè)備簡介：本爐是由爐體與一個可移動的爐蓋及控制系統(tǒng)組成。爐體外殼采用型鋼及鋼板焊接而成。四川半導(dǎo)體外延生長爐爐蓋支撐采用型鋼和導(dǎo)軌組合移動式。元件采用北京首鋼產(chǎn)的高電阻合金0Cr25Al5布置在爐側(cè)。爐底由于承重采用高鋁磚砌筑，爐子中心采用大圈套小圈做法，里外加熱。四川半導(dǎo)體外延生長爐爐蓋采用液壓升降，電機(jī)控制自動行走。溫控系統(tǒng)采用PID可控硅控制，精度高。

臺車式退火爐是通過熱處理可以改變鋼的組織結(jié)構(gòu)，從而改善鋼的性能。四川半導(dǎo)體外延生長爐熱處理可以顯著提高鋼的機(jī)械性能，延長機(jī)器零件的使用壽命。四川半導(dǎo)體外延生長爐恰當(dāng)?shù)臒崽幚砉に嚳梢韵T、鍛、焊等熱加工工藝造成的各種缺陷，細(xì)化晶粒、消除偏析、降低內(nèi)應(yīng)力，使鋼的組織和性能更加均勻。臺車式退火爐處理的均勻鋼的化學(xué)成分及組織，細(xì)化晶粒，調(diào)整硬度，并消除內(nèi)應(yīng)力和加工硬化，改善鋼的切削加工性能并為隨后的淬火作好組織準(zhǔn)備。生產(chǎn)上常用的退火操作有完全退火、等溫退火、球化退火、去應(yīng)力退火等。

單位質(zhì)量/體積的燃料完全燃燒，四川半導(dǎo)體外延生長爐當(dāng)燃燒產(chǎn)物冷卻到燃燒前的溫度時(shí)所放出的熱量一般室溫25攝氏度。四川半導(dǎo)體外延生長爐依據(jù)燃燒產(chǎn)物中水蒸氣包括燃料中所含水生成的水蒸氣和燃料中的氫燃燒時(shí)生成的水蒸氣的不同形態(tài)，分為兩種發(fā)熱量：高溫發(fā)熱量、低位發(fā)熱量高位發(fā)熱量高位熱值：燃料完全燃燒，燃燒產(chǎn)物中的水蒸汽全部凝結(jié)為液態(tài)水時(shí)所放出的熱量低位發(fā)熱量低位熱值：燃料完全燃燒，燃燒產(chǎn)物中的水蒸汽仍以氣態(tài)存在時(shí)所放出的熱量。

完全燃燒：燃料中的全部可燃成分在空氣充足的情況下達(dá)到完全氧化，四川半導(dǎo)體外延生長爐燃燒產(chǎn)物中沒有游離的C及CO、H2、CH4等可燃成分。不完全燃燒：燃料中的可燃成分沒有完全氧化，燃燒產(chǎn)物中尚存在一些可燃成分，如游離的C及CO、H2、CH4等?？諝膺^剩系數(shù)：燃料完全燃燒需要供應(yīng)一定量的空氣。四川半導(dǎo)體外延生長爐根據(jù)燃燒化學(xué)反應(yīng)方程式計(jì)算出來的單位燃料完全燃燒時(shí)所需的空氣量為理論空氣量。實(shí)際供應(yīng)的空氣量一般大于理論空氣量，稱為實(shí)際空氣量。實(shí)際空氣量與理論空氣量的比值稱為空氣過剩系數(shù)。一般氣體燃料的空氣過剩系數(shù)為1.05到1.15。

風(fēng)溫水平降低、噴煤效果差5號高爐風(fēng)溫一直在1200℃以上，但2011年12月至2012年3月由于1號高爐擴(kuò)容改造造成系流煤氣嚴(yán)重不足，甚至熱風(fēng)爐燒爐都不能保證，熱風(fēng)溫度下降100℃以上，同時(shí)5號高爐不能富氧，造成噴煤效果變差，惡化爐缸工作。四川半導(dǎo)體外延生長爐無計(jì)劃的頻繁休風(fēng)2012年元月12日，退火爐高爐爐況向涼，風(fēng)口全部灌死，休風(fēng)10小時(shí)。2012年元月19日，4號、10號風(fēng)口二套燒壞，爐內(nèi)大量進(jìn)水，休風(fēng)6小時(shí)處理。四川半導(dǎo)體外延生長爐2012年元月28日，南料車鋼絲繩拉斷，休風(fēng)12小時(shí)處理，頻繁的無計(jì)劃休風(fēng)，加劇了爐況的惡化。