依據(jù)燃?xì)馀c空氣的混合情況，分為三種燃燒方法。廣東半導(dǎo)體外延生長爐長焰燃燒減去燃?xì)夂涂諝庠谌紵鲀?nèi)不混合，噴出后靠擴(kuò)散作用進(jìn)行邊混合邊燃燒，火焰長。廣東半導(dǎo)體外延生長爐短焰燃燒減去燃?xì)庠谌紵鲀?nèi)與部分空氣一次空氣混合，噴出后燃燒并進(jìn)一步與二次空氣混合燃燒，火焰較短無焰燃燒－燃?xì)馀c空氣在燃燒器內(nèi)或進(jìn)燃燒器前完全混合，在燃燒器內(nèi)或噴出后燃燒，火焰短而透明，幾乎無火焰。

在鑄造加熱爐內(nèi)，進(jìn)步金屬的加熱溫度，能夠下降變形阻力，但溫度過高會(huì)引起晶粒長大、氧化或過燒，嚴(yán)峻影響工件質(zhì)量。在熱處理過程中，假如把鋼加熱到臨界溫度以上的某一點(diǎn)，然后突然冷卻，就能進(jìn)步鋼的硬度和強(qiáng)度；廣東半導(dǎo)體外延生長爐假如加熱到臨界溫度以下的某一點(diǎn)后緩慢冷卻，則又能使鋼的硬度下降而使韌性進(jìn)步。廣東半導(dǎo)體外延生長爐金屬或物料加熱時(shí)吸收的熱量與供入爐內(nèi)的熱量之比，稱為爐子熱效率。連續(xù)式爐比間斷式爐的熱效率高，因?yàn)檫B續(xù)式爐的出產(chǎn)率高，并且是不間斷作業(yè)的，爐子熱制度處于安穩(wěn)狀態(tài)，沒有周期性的爐墻蓄熱丟失，還因?yàn)闋t膛內(nèi)部有一個(gè)預(yù)熱爐料的區(qū)段，煙氣有些余熱為因?yàn)闋t膛內(nèi)部有一個(gè)預(yù)熱爐料的區(qū)段，煙氣有些余熱為入爐的冷工件所吸收，下降了離爐煙氣的溫度。以完成爐溫、爐氣氛或爐壓的主動(dòng)操控。

等溫式退火是應(yīng)用于鋼和某些非鐵合金如鈦合金的一種控制冷卻的退火方法。廣東半導(dǎo)體外延生長爐對(duì)鋼來說，是緩慢加熱到 Ac3亞共析鋼或 Ac1共析鋼和過共析鋼以上不多的溫度，保溫一段時(shí)間，使鋼奧氏體化，然后迅速移入溫度在A1以下不多的另一爐內(nèi)，等溫保持直到奧氏體全部轉(zhuǎn)變?yōu)槠瑢訝钪楣怏w亞共析鋼還有先共析鐵素體；廣東半導(dǎo)體外延生長爐過共析鋼還有先共析滲碳體為止，最后以任意速度冷卻下來通常是出爐在空氣中冷卻。

退火爐采用金屬熱處理退火工藝，將金屬緩慢加熱到一定溫度，保持足夠時(shí)間，然后以適宜速度冷卻。廣東半導(dǎo)體外延生長爐目的是降低硬度，改善切削加工性；消除殘余應(yīng)力，穩(wěn)定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細(xì)化晶粒，調(diào)整組織，消除組織缺陷。廣東半導(dǎo)體外延生長爐使經(jīng)過鑄造、鍛軋、焊接或切削加工的材料或工件軟化，改善塑性和韌性，使化學(xué)成分均勻化，去除殘余應(yīng)力，或得到預(yù)期的物理性能。鑄件在冷卻過程中，積累了大量的內(nèi)應(yīng)力，要通過退火爐來消除內(nèi)應(yīng)力。

加熱元件采用高溫合金電阻帶經(jīng)特殊加工成形，采用耐熱陶瓷螺釘固定，既保證絕緣又能保證加熱元件的快速散熱性，從而確保其使用壽命比一般廠家長二到三倍，并且杜絕其在運(yùn)行中的斷路現(xiàn)象。廣東半導(dǎo)體外延生長爐退火爐的控溫系統(tǒng)采用多區(qū)PID智能控溫方法，利用可控硅三相過零觸法能自動(dòng)智能調(diào)節(jié)輸出功率百分比，使溫度完全按照工藝編程指令要求。廣東半導(dǎo)體外延生長爐控溫精度小于等于一攝氏度，爐膛有效空間溫度均勻性達(dá)到正負(fù)三攝氏度，有效確保工件不過燒，不熔氧，又能力保證工件熱處理合格率達(dá)到百分之一百。