退火爐作用是將工件加熱到預(yù)定溫度，保溫一定的時(shí)間后緩慢冷卻的金屬熱處理工藝。淮安半導(dǎo)體外延生長爐具體內(nèi)容如下：改善或消除鋼鐵在鑄造、鍛壓、軋制和焊接過程中所造成的各種組織缺陷以及殘余應(yīng)力，防止工件變形、開裂。軟化工件以便進(jìn)行切削加工。淮安半導(dǎo)體外延生長爐細(xì)化晶粒，改善組織以提高工件的機(jī)械性能。為最終熱處理淬火、回火作好組織準(zhǔn)備。

等溫式退火是應(yīng)用于鋼和某些非鐵合金如鈦合金的一種控制冷卻的退火方法。淮安半導(dǎo)體外延生長爐對(duì)鋼來說，是緩慢加熱到 Ac3亞共析鋼或 Ac1共析鋼和過共析鋼以上不多的溫度，保溫一段時(shí)間，使鋼奧氏體化，然后迅速移入溫度在A1以下不多的另一爐內(nèi)，等溫保持直到奧氏體全部轉(zhuǎn)變?yōu)槠瑢訝钪楣怏w亞共析鋼還有先共析鐵素體；淮安半導(dǎo)體外延生長爐過共析鋼還有先共析滲碳體為止，最后以任意速度冷卻下來通常是出爐在空氣中冷卻。

爐壁保溫襯里采用復(fù)合型耐溫材料模塊、全密封爐體配以進(jìn)口高精度溫控儀表為控制核心的集散式DCS系統(tǒng), 相關(guān)各爐況參數(shù)均實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化模糊控制，可靠性高且運(yùn)行穩(wěn)定。淮安半導(dǎo)體外延生長爐全爐密封效果好，與同類爐窯相比具有日常運(yùn)行及后期維護(hù)成本低廉的優(yōu)點(diǎn)。退火爐按熱源分類主要有電熱爐、燃煤退火爐、燃油退火爐、天然氣退火爐、煤氣退火爐等，其中以自備煤氣發(fā)生爐所產(chǎn)煤氣退火爐應(yīng)用最廣泛。煤氣退火窯減去了燃燒室，直接利用煤氣燒嘴在加熱室噴射燃燒。淮安半導(dǎo)體外延生長爐為了降低能耗，煤氣退火窯往往配有換熱系統(tǒng)，將空氣轉(zhuǎn)換為助燃熱風(fēng)進(jìn)行煤氣的助燃。

若快切閥顯示為黃色，換向閥顯示為紅色X，即是行程不到位，檢查行程是否脫離設(shè)備，若無脫離，可打開行程開關(guān)，檢查行程內(nèi)凸輪是否出現(xiàn)不到位情況，適當(dāng)調(diào)整使之弧度處壓上彈簧片即可。淮安半導(dǎo)體外延生長爐若快切閥或換向閥顯示為紅色或綠色之一，可判定其行程正常，排查重點(diǎn)在動(dòng)作部分。檢查動(dòng)作部分時(shí)，先于現(xiàn)場(chǎng)觀察電磁閥兩插頭是否有一個(gè)亮燈，若兩個(gè)都不亮，則為電氣故障。淮安半導(dǎo)體外延生長爐然后，若有一個(gè)亮，可把兩插頭取下，用亮的插頭在兩個(gè)電磁閥插座上輪流插拔試驗(yàn)，若汽缸不動(dòng)作，則為機(jī)械故障。若汽缸動(dòng)作，則為電氣故障。

鋼的重結(jié)晶退火工藝是：緩慢加熱到亞共析鋼或共析鋼或過共析鋼以上三十到五十?dāng)z氏度，保持適當(dāng)時(shí)間，然后緩慢冷卻下來。淮安半導(dǎo)體外延生長爐通過加熱過程中發(fā)生的珠光體或者還有先共析的鐵素體或滲碳體轉(zhuǎn)變?yōu)閵W氏體以及冷卻過程中發(fā)生的與此相反的第二回相變重結(jié)晶，形成晶粒較細(xì)、片層較厚、組織均勻的珠光體或者還有先共析鐵素體或滲碳體。淮安半導(dǎo)體外延生長爐退火溫度在亞共析鋼使鋼發(fā)生完全的重結(jié)晶者，稱為完全退火，退火溫度在Ac1與Ac3之間 亞共析鋼或Ac1與Acm之間過共析鋼，使鋼發(fā)生部分的重結(jié)晶者，稱為不完全退火。