操作管理混亂，經(jīng)驗(yàn)不足。四川半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐一是裝料制度變更頻繁，且針對(duì)性不強(qiáng)，尤其是中心焦炭沒(méi)有保證；二是爐溫控制偏低且波動(dòng)較大，鐵水溫度長(zhǎng)期在一千四百五十?dāng)z氏度以下，硫超標(biāo)事故經(jīng)常發(fā)生；四川半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐三是日常操作三班不統(tǒng)一且表現(xiàn)為；風(fēng)量、風(fēng)壓不統(tǒng)一，有的班開(kāi)得高，有的班開(kāi)得低，頂壓不統(tǒng)一，壓差波動(dòng)大，料線不統(tǒng)一，手動(dòng)控制比較多，爐料落點(diǎn)難以規(guī)范，無(wú)規(guī)律性；四是退火爐工藝管理粗放，考核不到位，高爐的各項(xiàng)管理精細(xì)化程度不夠，制度執(zhí)行不力。

首先，硅碳棒加熱后形成濃密的氧化硅膜，從而生成抗氧化保護(hù)膜，延長(zhǎng)了硅碳棒的壽命。在使用硅碳棒的過(guò)程中，可以使用涂層用于氣體的爐內(nèi)。四川半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐來(lái)防止硅碳棒的裂化，其次在使用硅碳棒的過(guò)程中，硅碳棒表面的溫度越高，表示硅碳棒的電流量越大。一般硅碳棒的有效發(fā)熱長(zhǎng)度在攝氏度以內(nèi)。四川半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐硅碳棒表面的實(shí)際功率是由于爐的內(nèi)溫度和硅碳棒表面的溫度決定的。硅鉬棒電流強(qiáng)度。在使用硅碳棒的時(shí)候，供電線與元件間必須有良好的接觸，避免電阻發(fā)熱過(guò)多從而造成燒毀接線。由于硅鉬棒運(yùn)行過(guò)程中熱膨脹而造成電源線松弛，應(yīng)在使用前把電源線接頭擰緊。

根據(jù)塑料件品種的不同，調(diào)節(jié)退火溫度。四川半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐把天然氣模殼焙燒爐中成型脫模后的注塑制品放在有一定溫度的加熱介質(zhì)或有熱空氣循環(huán)的烘箱中，加熱到比產(chǎn)品使用溫度高二十度到三十五度或者比產(chǎn)品的熱變形溫度低25-35度的溫度下，將產(chǎn)品放進(jìn)去。過(guò)高溫度中制品要變形，但不能溫度過(guò)低，過(guò)低溫度退火，不能達(dá)到退火效果。四川半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐退火的時(shí)間長(zhǎng)短要視產(chǎn)品的壁厚而定，越厚的壁要退火的時(shí)間越長(zhǎng)。熱處理時(shí)間達(dá)到要求后，制件隨介質(zhì)一起緩慢自然降溫至室溫。注意，處理后的制品如果用冷水急劇降溫或直接從熱處理介質(zhì)中取出降溫，制品由于冷卻速度的不同，又會(huì)產(chǎn)生新的內(nèi)應(yīng)力。

例如鈦合金于加熱和冷卻時(shí)發(fā)生同素異構(gòu)轉(zhuǎn)變，低溫為α相密排六方結(jié)構(gòu))，高溫為β相體心立方結(jié)構(gòu)，其中間是“α+β”兩相區(qū)，即相變溫度區(qū)間。四川半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐為了得到接近平衡的室溫穩(wěn)定組織和細(xì)化晶粒，也進(jìn)行重結(jié)晶退火，即緩慢加熱到高于相變溫度區(qū)間不多的溫度，保溫適當(dāng)時(shí)間，使合金轉(zhuǎn)變?yōu)棣孪嗟募?xì)小晶粒；四川半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐然后緩慢冷卻下來(lái)，使β相再轉(zhuǎn)變?yōu)棣料嗷颚?β兩相的細(xì)小晶粒。

退火爐采用金屬熱處理退火工藝，將金屬緩慢加熱到一定溫度，保持足夠時(shí)間，然后以適宜速度冷卻。四川半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐目的是降低硬度，改善切削加工性；消除殘余應(yīng)力，穩(wěn)定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細(xì)化晶粒，調(diào)整組織，消除組織缺陷。四川半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐使經(jīng)過(guò)鑄造、鍛軋、焊接或切削加工的材料或工件軟化，改善塑性和韌性，使化學(xué)成分均勻化，去除殘余應(yīng)力，或得到預(yù)期的物理性能。鑄件在冷卻過(guò)程中，積累了大量的內(nèi)應(yīng)力，要通過(guò)退火爐來(lái)消除內(nèi)應(yīng)力。