等溫式退火是應(yīng)用于鋼和某些非鐵合金如鈦合金的一種控制冷卻的退火方法。福建半導(dǎo)體外延生長爐對(duì)鋼來說，是緩慢加熱到 Ac3亞共析鋼或 Ac1共析鋼和過共析鋼以上不多的溫度，保溫一段時(shí)間，使鋼奧氏體化，然后迅速移入溫度在A1以下不多的另一爐內(nèi)，等溫保持直到奧氏體全部轉(zhuǎn)變?yōu)槠瑢訝钪楣怏w亞共析鋼還有先共析鐵素體；福建半導(dǎo)體外延生長爐過共析鋼還有先共析滲碳體為止，最后以任意速度冷卻下來通常是出爐在空氣中冷卻。

結(jié)構(gòu)：退火爐爐門采用輕型鋼結(jié)構(gòu)骨架，耐火纖維做隔熱保溫材料2.爐門提升動(dòng)力：爐門采用電動(dòng)升降，電動(dòng)葫蘆裝在爐門龍門架上方。福建半導(dǎo)體外延生長爐爐門密封：本爐門采用特殊彈簧與凸輪機(jī)構(gòu)自動(dòng)壓緊和軟邊密封裝置，可使?fàn)t門與爐體自動(dòng)壓緊，確保爐子在生產(chǎn)過程中始終處于密封狀態(tài)，杜絕了高溫爐氣的外逸，改善了工作環(huán)境，保證了爐溫均勻性，增強(qiáng)節(jié)能效果。這種爐門密封裝置結(jié)構(gòu)簡單，安全可靠，維修方便。福建半導(dǎo)體外延生長爐這種機(jī)構(gòu)在近幾年生產(chǎn)的全纖維棉臺(tái)車爐中使用效果很好。

調(diào)節(jié)閥可參考其關(guān)聯(lián)溫度判斷設(shè)備是否工作正常。若出現(xiàn)故障，先關(guān)閉電源控制柜內(nèi)其工作電源，打開現(xiàn)場閥蓋，在確認(rèn)閥內(nèi)模塊不帶電的情況下，用內(nèi)六方扳手旋轉(zhuǎn)閥體。福建半導(dǎo)體外延生長爐若旋轉(zhuǎn)感覺很卡，則為機(jī)械故障，若感覺旋轉(zhuǎn)順暢，則為電氣故障。福建半導(dǎo)體外延生長爐模擬量部分此處模擬量指溫度、壓力和流量等。除空氣總管壓力和煤氣總管壓力外，其余模擬量不參與控制。

單位質(zhì)量/體積的燃料完全燃燒，福建半導(dǎo)體外延生長爐當(dāng)燃燒產(chǎn)物冷卻到燃燒前的溫度時(shí)所放出的熱量一般室溫25攝氏度。福建半導(dǎo)體外延生長爐依據(jù)燃燒產(chǎn)物中水蒸氣包括燃料中所含水生成的水蒸氣和燃料中的氫燃燒時(shí)生成的水蒸氣的不同形態(tài)，分為兩種發(fā)熱量：高溫發(fā)熱量、低位發(fā)熱量高位發(fā)熱量高位熱值：燃料完全燃燒，燃燒產(chǎn)物中的水蒸汽全部凝結(jié)為液態(tài)水時(shí)所放出的熱量低位發(fā)熱量低位熱值：燃料完全燃燒，燃燒產(chǎn)物中的水蒸汽仍以氣態(tài)存在時(shí)所放出的熱量。

故障出現(xiàn)后，監(jiān)控主畫面上方會(huì)出現(xiàn)報(bào)警提示，根據(jù)提示內(nèi)容可初步判定故障設(shè)備，報(bào)警具體如下：V101閥位報(bào)警、V105閥位報(bào)警加熱段煤氣換向報(bào)警加熱段空氣換向報(bào)警、保溫段煤氣換向報(bào)警、保溫段空氣換向報(bào)警。福建半導(dǎo)體外延生長爐其中，V101閥即加熱段煤氣快切閥，V105閥即保溫段煤氣快切閥。每一設(shè)備由動(dòng)作部分和閥位反饋部分組成。動(dòng)作部分由電磁閥帶氣動(dòng)元件發(fā)生動(dòng)作。福建半導(dǎo)體外延生長爐出現(xiàn)上述報(bào)警后，首先查看報(bào)警設(shè)備在監(jiān)控主畫面上顯示的顏色，確定其狀態(tài)。

罩式退火爐主要用于在自然氣氛中進(jìn)行薄板材退火以及鋼件的正火處理。特殊鋼、精密合金。大型全纖維臺(tái)車式電阻爐說明帶材、線材的光亮退火。特殊鋼鑄、鍛件的退火。福建半導(dǎo)體外延生長爐硅鋼片成品退火。金屬、非金屬粉末壓制作件的燒結(jié)等。福建半導(dǎo)體外延生長爐罩式退火爐主要用于在自然氣氛中進(jìn)行薄板材退火以及鋼件的正火處理。特殊鋼、精密合金。大型全纖維臺(tái)車式電阻爐說明帶材、線材的光亮退火。特殊鋼鑄、鍛件的退火。硅鋼片成品退火。金屬、非金屬粉末壓制作件的燒結(jié)等。