箱式回火爐外殼由國(guó)標(biāo)鋼板和型鋼焊接制造，爐襯采用輕質(zhì)高鋁節(jié)能保溫磚砌筑，結(jié)合硅酸鋁纖維棉復(fù)合爐襯保溫。重慶半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐箱式回火爐的電熱元件為長(zhǎng)壽命設(shè)計(jì)、耐高溫高合制成，布置在爐膛兩側(cè)和爐底。重慶半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐爐門(mén)通過(guò)電動(dòng)或液壓升降，小型箱式回火爐也可使用手搖爐門(mén)，爐門(mén)開(kāi)啟時(shí)有斷路保護(hù)裝置停止送電加熱。采用微電腦溫度控制系統(tǒng)來(lái)高精度控制，回火工藝，全自動(dòng)完成從進(jìn)爐到出爐的回火熱處理全過(guò)程。

結(jié)構(gòu)：退火爐爐門(mén)采用輕型鋼結(jié)構(gòu)骨架，耐火纖維做隔熱保溫材料2.爐門(mén)提升動(dòng)力：爐門(mén)采用電動(dòng)升降，電動(dòng)葫蘆裝在爐門(mén)龍門(mén)架上方。重慶半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐爐門(mén)密封：本爐門(mén)采用特殊彈簧與凸輪機(jī)構(gòu)自動(dòng)壓緊和軟邊密封裝置，可使?fàn)t門(mén)與爐體自動(dòng)壓緊，確保爐子在生產(chǎn)過(guò)程中始終處于密封狀態(tài)，杜絕了高溫爐氣的外逸，改善了工作環(huán)境，保證了爐溫均勻性，增強(qiáng)節(jié)能效果。這種爐門(mén)密封裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，安全可靠，維修方便。重慶半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐這種機(jī)構(gòu)在近幾年生產(chǎn)的全纖維棉臺(tái)車(chē)爐中使用效果很好。

例如鈦合金于加熱和冷卻時(shí)發(fā)生同素異構(gòu)轉(zhuǎn)變，低溫為α相密排六方結(jié)構(gòu))，高溫為β相體心立方結(jié)構(gòu)，其中間是“α+β”兩相區(qū)，即相變溫度區(qū)間。重慶半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐為了得到接近平衡的室溫穩(wěn)定組織和細(xì)化晶粒，也進(jìn)行重結(jié)晶退火，即緩慢加熱到高于相變溫度區(qū)間不多的溫度，保溫適當(dāng)時(shí)間，使合金轉(zhuǎn)變?yōu)棣孪嗟募?xì)小晶粒；重慶半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐然后緩慢冷卻下來(lái)，使β相再轉(zhuǎn)變?yōu)棣料嗷颚?β兩相的細(xì)小晶粒。

首先，硅碳棒加熱后形成濃密的氧化硅膜，從而生成抗氧化保護(hù)膜，延長(zhǎng)了硅碳棒的壽命。在使用硅碳棒的過(guò)程中，可以使用涂層用于氣體的爐內(nèi)。重慶半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐來(lái)防止硅碳棒的裂化，其次在使用硅碳棒的過(guò)程中，硅碳棒表面的溫度越高，表示硅碳棒的電流量越大。一般硅碳棒的有效發(fā)熱長(zhǎng)度在攝氏度以?xún)?nèi)。重慶半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐硅碳棒表面的實(shí)際功率是由于爐的內(nèi)溫度和硅碳棒表面的溫度決定的。硅鉬棒電流強(qiáng)度。在使用硅碳棒的時(shí)候，供電線(xiàn)與元件間必須有良好的接觸，避免電阻發(fā)熱過(guò)多從而造成燒毀接線(xiàn)。由于硅鉬棒運(yùn)行過(guò)程中熱膨脹而造成電源線(xiàn)松弛，應(yīng)在使用前把電源線(xiàn)接頭擰緊。

若快切閥顯示為黃色，換向閥顯示為紅色X，即是行程不到位，檢查行程是否脫離設(shè)備，若無(wú)脫離，可打開(kāi)行程開(kāi)關(guān)，檢查行程內(nèi)凸輪是否出現(xiàn)不到位情況，適當(dāng)調(diào)整使之弧度處壓上彈簧片即可。重慶半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐若快切閥或換向閥顯示為紅色或綠色之一，可判定其行程正常，排查重點(diǎn)在動(dòng)作部分。檢查動(dòng)作部分時(shí)，先于現(xiàn)場(chǎng)觀(guān)察電磁閥兩插頭是否有一個(gè)亮燈，若兩個(gè)都不亮，則為電氣故障。重慶半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐然后，若有一個(gè)亮，可把兩插頭取下，用亮的插頭在兩個(gè)電磁閥插座上輪流插拔試驗(yàn)，若汽缸不動(dòng)作，則為機(jī)械故障。若汽缸動(dòng)作，則為電氣故障。

當(dāng)塑料品存在薄和厚位置的連接部位，厚的部位降溫慢、薄的部位降溫快些，則連接處發(fā)生不均勻收縮，結(jié)果就導(dǎo)致應(yīng)力集中現(xiàn)象。重慶半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐在有金屬鑲件的四周，這種現(xiàn)象更明顯。重慶半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐剛出模的時(shí)候表面上無(wú)異常，過(guò)段時(shí)間，也許是幾天，也許是半年或更長(zhǎng)，在外因作用，下溫度，壓力，極性溶液等，應(yīng)力集中部位會(huì)產(chǎn)生裂紋，甚至開(kāi)裂或者變形。為了消除或減少成型制品中的內(nèi)應(yīng)力、避免制品在貯存或應(yīng)用時(shí)產(chǎn)生較大的變形或開(kāi)裂，對(duì)成型后的一些制品要進(jìn)行退火處理。