加熱元件采用高溫合金電阻帶經(jīng)特殊加工成形，采用耐熱陶瓷螺釘固定，既保證絕緣又能保證加熱元件的快速散熱性，從而確保其使用壽命比一般廠家長二到三倍，并且杜絕其在運(yùn)行中的斷路現(xiàn)象。河北半導(dǎo)體外延生長爐退火爐的控溫系統(tǒng)采用多區(qū)PID智能控溫方法，利用可控硅三相過零觸法能自動(dòng)智能調(diào)節(jié)輸出功率百分比，使溫度完全按照工藝編程指令要求。河北半導(dǎo)體外延生長爐控溫精度小于等于一攝氏度，爐膛有效空間溫度均勻性達(dá)到正負(fù)三攝氏度，有效確保工件不過燒，不熔氧，又能力保證工件熱處理合格率達(dá)到百分之一百。

根據(jù)塑料件品種的不同，調(diào)節(jié)退火溫度。河北半導(dǎo)體外延生長爐把天然氣模殼焙燒爐中成型脫模后的注塑制品放在有一定溫度的加熱介質(zhì)或有熱空氣循環(huán)的烘箱中，加熱到比產(chǎn)品使用溫度高二十度到三十五度或者比產(chǎn)品的熱變形溫度低25-35度的溫度下，將產(chǎn)品放進(jìn)去。過高溫度中制品要變形，但不能溫度過低，過低溫度退火，不能達(dá)到退火效果。河北半導(dǎo)體外延生長爐退火的時(shí)間長短要視產(chǎn)品的壁厚而定，越厚的壁要退火的時(shí)間越長。熱處理時(shí)間達(dá)到要求后，制件隨介質(zhì)一起緩慢自然降溫至室溫。注意，處理后的制品如果用冷水急劇降溫或直接從熱處理介質(zhì)中取出降溫，制品由于冷卻速度的不同，又會(huì)產(chǎn)生新的內(nèi)應(yīng)力。

爐體外殼采用型鋼及鋼板焊接而成。爐蓋支撐采用型鋼和導(dǎo)軌組合移動(dòng)式。河北半導(dǎo)體外延生長爐加熱元件采用北京首鋼產(chǎn)的高電阻合金布置在爐側(cè)。爐底由于承重采用高鋁磚砌筑爐子中心采用大圈套小圈做法，里外加熱。爐蓋采用液壓升降，電機(jī)控制自動(dòng)行走。溫控系統(tǒng)采用PID可控硅控制，精度高。河北半導(dǎo)體外延生長爐在闡述這個(gè)問題前我們先來了解一下鑄件的生產(chǎn)過程：鑄件是通過加熱鑄件將其在爐內(nèi)融化成液體金屬澆鑄到與零件形狀相適應(yīng)的鑄造空腔中，待其冷卻凝固后，獲得具有一定形狀、尺寸和性能金屬零件毛坯。

例如鈦合金于加熱和冷卻時(shí)發(fā)生同素異構(gòu)轉(zhuǎn)變，低溫為α相密排六方結(jié)構(gòu))，高溫為β相體心立方結(jié)構(gòu)，其中間是“α+β”兩相區(qū)，即相變溫度區(qū)間。河北半導(dǎo)體外延生長爐為了得到接近平衡的室溫穩(wěn)定組織和細(xì)化晶粒，也進(jìn)行重結(jié)晶退火，即緩慢加熱到高于相變溫度區(qū)間不多的溫度，保溫適當(dāng)時(shí)間，使合金轉(zhuǎn)變?yōu)棣孪嗟募?xì)小晶粒；河北半導(dǎo)體外延生長爐然后緩慢冷卻下來，使β相再轉(zhuǎn)變?yōu)棣料嗷颚?β兩相的細(xì)小晶粒。