依據(jù)燃氣與空氣的混合情況，分為三種燃燒方法。遼寧半導(dǎo)體外延生長爐長焰燃燒減去燃氣和空氣在燃燒器內(nèi)不混合，噴出后靠擴散作用進行邊混合邊燃燒，火焰長。遼寧半導(dǎo)體外延生長爐短焰燃燒減去燃氣在燃燒器內(nèi)與部分空氣一次空氣混合，噴出后燃燒并進一步與二次空氣混合燃燒，火焰較短無焰燃燒－燃氣與空氣在燃燒器內(nèi)或進燃燒器前完全混合，在燃燒器內(nèi)或噴出后燃燒，火焰短而透明，幾乎無火焰。

操作保員到崗后服裝方面應(yīng)正確穿戴勞保用品。操作退火爐設(shè)備前檢查推拉桿機構(gòu)、爐門升降機構(gòu)、傳動裝置是否良好，看爐內(nèi)有無障礙物，箱是否放正確，有無漏電等。隨時注意和檢查爐溫與儀表讀數(shù)是否相符。遼寧半導(dǎo)體外延生長爐鍛件在底盤上要擺放整齊，如果鍛件掉在電爐絲旁，應(yīng)停電取出，同時，在爐門上掛禁止合閘警示牌。遼寧半導(dǎo)體外延生長爐使用行車吊運物料工件過程中，應(yīng)做到十不吊的規(guī)章制度。要加工或處理后的工件定點存放，不得占道，影響車間秩序。遵循5S標(biāo)準(zhǔn)來合理生產(chǎn)。

經(jīng)冷塑性變形加工的工件加熱到再結(jié)晶溫度以上，保持適當(dāng)時間，通過再結(jié)晶使冷變形過程中產(chǎn)生的晶體學(xué)缺陷基本消失，重新形成均勻的等軸晶粒，以消除變形強化效應(yīng)和殘余應(yīng)力的退火。遼寧半導(dǎo)體外延生長爐一般鋼材再結(jié)晶退火溫度在六百攝氏度到七百攝氏度之間不等，遼寧半導(dǎo)體外延生長爐保溫一到三個小時空冷，對含質(zhì)量分數(shù)小于百分之零點二的普通碳鋼，在冷變形時臨界變形速度若達百分之六到百分之十五的范圍，則再結(jié)晶退火后易出現(xiàn)粗晶，因此應(yīng)避免在該范圍內(nèi)變形。

爐體外殼采用型鋼及鋼板焊接而成。爐蓋支撐采用型鋼和導(dǎo)軌組合移動式。遼寧半導(dǎo)體外延生長爐加熱元件采用北京首鋼產(chǎn)的高電阻合金布置在爐側(cè)。爐底由于承重采用高鋁磚砌筑爐子中心采用大圈套小圈做法，里外加熱。爐蓋采用液壓升降，電機控制自動行走。溫控系統(tǒng)采用PID可控硅控制，精度高。遼寧半導(dǎo)體外延生長爐在闡述這個問題前我們先來了解一下鑄件的生產(chǎn)過程：鑄件是通過加熱鑄件將其在爐內(nèi)融化成液體金屬澆鑄到與零件形狀相適應(yīng)的鑄造空腔中，待其冷卻凝固后，獲得具有一定形狀、尺寸和性能金屬零件毛坯。

均勻化退火又稱擴散退火。遼寧半導(dǎo)體外延生長爐應(yīng)用于鋼及非鐵合金如錫青銅、硅青銅、白銅、鎂合金等的鑄錠或鑄件的一種退火方法。將鑄錠或鑄件加熱到各該合金的固相線溫度以下的某一較高溫度，長時間保溫，然后緩慢冷卻下來。遼寧半導(dǎo)體外延生長爐均勻化退火是使合金中的元素發(fā)生固態(tài)擴散，來減輕化學(xué)成分不均勻性偏析，主要是減輕晶粒尺度內(nèi)的化學(xué)成分不均勻性晶內(nèi)偏析或稱枝晶偏析。均勻化退火溫度所以如此之高，是為了加快合金元素擴散，盡可能縮短保溫時間