目前，高端零部件對(duì)爐內(nèi)氣氛的要求很高，一般要求殘氧量在10ppm以下露點(diǎn)在-40度以下。爐內(nèi)氣氛的好壞在很大程度上取決于爐子本身的氣密性。通常在熱處理爐安裝結(jié)束后，要對(duì)爐殼的氣密性做打壓試驗(yàn)，以確保爐子的氣密性。但在以后的生產(chǎn)過(guò)程中，由于熱脹冷縮，爐體鋼結(jié)構(gòu)振動(dòng)、檢修拆裝設(shè)備、密封件損壞、設(shè)備損壞等因素會(huì)導(dǎo)致爐殼出現(xiàn)局部泄漏。如果這些漏點(diǎn)沒有被及時(shí)發(fā)現(xiàn)和有效封堵，就會(huì)導(dǎo)致熱處理爐氣密性變差，使?fàn)t內(nèi)的殘氧量升高，最終影響產(chǎn)品表面質(zhì)量。

熱處理退火爐內(nèi)氣氛的影響機(jī)理

退火爐內(nèi)的保護(hù)氣體由氮?dú)夂蜌錃獍凑找欢ū壤旌隙桑鹬€原零部件和防止氧化的作用，其主要參數(shù)指標(biāo)有氫氣比例露點(diǎn)、殘氧量等。

殘氧量的影響

1）能在低溫區(qū)富集，可能會(huì)在條件適宜時(shí)與氫氣發(fā)生劇烈反應(yīng)；

2）對(duì)零部件表面形成選擇性氧化，形成色差等；

3）對(duì)爐內(nèi)耐火材料產(chǎn)生氧化損害，縮短材料的使用周期。

改善退火爐內(nèi)氣氛的方法

1）建立退火爐氣密性檢查制度

2）確定氣密性檢查的重點(diǎn)部位

3）確定檢測(cè)時(shí)間、頻率、責(zé)任和確認(rèn)人

退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中，例如氧化，或者可以自己處理。退火爐是由專門為加熱半導(dǎo)體晶片而設(shè)計(jì)的設(shè)備完成的。退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐，超節(jié)能結(jié)構(gòu)，采用纖維結(jié)構(gòu)，節(jié)電60%。